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硅壓阻式充油芯體技術特點

文字:[大][中][小] 2021-03-18 16:51    瀏覽次數:    

硅壓阻式充油芯體(擴散硅壓力傳感器)技術特點:

1、靈敏度高

擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50?80倍,它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接口電路適配性好,應用成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低,輸出信號大,且無機械動件損耗,因而分辨率極高。

2、精度高

擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉換和檢測三位一體,無機械動件連接轉換環節,所以重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好,形變小,因而傳感器的線性也非常好,因此綜合表態精度很高。

3、可靠性高

擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級,膜片最大位移量在來微米數量級,且無機械磨損、無疲勞、無老化。平均無故障時間長,性能穩定,可靠性高。

4、頻響高

由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在50KC。制造過程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結構前置安裝特殊設計,使傳感器頻率響應很高,使用帶寬可達零頻至100千赫茲。

5、溫度性能好

隨著集成工藝技術進步,擴散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進一步提高,原始的手工補償已被激光調阻、 計算機自動修整技術所替代,傳感器的零位和靈敏度溫度系數已達10-5/°C數量級,工作溫度也大幅度提高。

6、抗電擊穿性能好

由于采用了特殊材料和裝配工藝,擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用,在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。

7、耐腐蝕性好

由于擴散硅材料本身優良的化學防腐性能好,即使傳感器受壓面不隔離,也能在普通使用中適應各種介質。硅材料又與硅油有良好的兼容性,使它在采用防腐材料隔離時結構工藝更易于實現。加之它的低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質安全防爆的特點,可替代諸多同類型的同功能產品,具有最優良的性能價格比。

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